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AOI機器視覺行業(yè)先行者

康耐德智能晶圓視覺檢測系統(tǒng)都能做些什么?

發(fā)布時間:2024-08-22瀏覽量:1751作者:康耐德


晶圓視覺檢測是半導體制造過程中的關鍵環(huán)節(jié),它能夠確保晶圓的良品率和生產(chǎn)效率。目前,機器視覺算法結合晶圓缺陷檢測方法因其普適性強、速度快而廣泛應用于工業(yè)檢測中。

康耐德視覺檢測系統(tǒng)可以高效識別晶圓表面缺陷并分類、標記,輔助晶片分揀。能夠通過視覺對位系統(tǒng)、視覺定位、視覺檢測等技術,提供了高精度的視覺檢測解決方案。

康耐德晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)主要檢測晶圓外觀的損傷、毛刺等缺陷,具體應用有:

  1. 表面破損

    圖片.png

檢測晶圓表面破損進行識別,計算破損面積及定位


2.晶圓序列碼讀取

圖1-處理結果圖.png


檢測晶元邊緣的序列碼,抓取序列碼的清晰輪廓并且能夠識別

康耐德智能針對晶圓表面缺陷的視覺檢測研究也在不斷深入,使用灰度模板匹配算法提取晶圓上的晶粒圖像,以及基于深度學習模型對晶圓上復雜的劃痕、污染缺陷進行目標檢測。

通過深度學習算法不斷優(yōu)化識別效果,結合工業(yè)相機、機械手臂、自動化產(chǎn)線等設備,為客戶提供多相機成像解決方案,可以應用于半導體封測設備、半導體晶圓貼片機和鍵合設備中。這些技術的應用,不僅提高了晶圓檢測的精度,也推動了半導體制造技術的發(fā)展。


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